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    RTP快速退火炉

    三期必開一期 www.rjcsz.com 发布时间:2017-11-16  浏览次数:1129

    产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
    商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 
    该产品采用成熟的制造工艺,RTP快速退火炉造型新颖结构合理; 
    目前已被各种试样实验多次验证,RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域; 

    该系统主要用于: 
    1.可满足离子注入后的快速退火; 
    2.也可用于欧姆接触快速合金; 
    3.还可用于硅化物合金退火,RTP快速退火炉氧化物生长; 
    4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
    该设备是国家专利?;げ?,专利号:CN201310005931.6
    快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火炉在成熟的生产制造工艺的基础上,自主研发了该款产品,拥有发明专利。RTP快速退火炉该设备不但拥有较快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的较快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温!
    腔体采用了不同的进气结构,内管进气,外管出气,RTP快速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。


    RTP快速退火炉主要技术参数

    1

    项 目

    主要技术指标

    数据

    2

    规格型号

    NBD-HR1200-110IT-170

    3

    温度控制

    最高温度点

    1200℃

    4

    额定温度

    1100℃

    5

    稳定状态温度范围

    100~1000℃

    6

    温度测量精度

    ±0.2℃

    7

    温度控制重复性

    ±1℃

    8

    温度控制精确度

    ±1℃

    9

    温场均匀性

    ±2℃

    10

    温度状态工艺时间(S)

    2~100(100~1000℃)

    11

    最快升温速率

    500℃/S

    12

    降温速率(℃/S)

    1~200(通氮气,速率更快)

    13

    温度控制模式

    智能模糊全闭环控制

    14

    软件功能

    操控系统

    NBD-101智能系统

    15

    用户界面

    中英文互换

    16

    工艺菜单编辑

    触屏式图像操作界面

    17

    扩充端口

    可扩充真空测控和FFC供气

    18

    看门狗

    系统进入死循环时关闭主控制器

    19

    热电偶校准状态检测

    软件校准,方便准确,软件分析传感器状态是否正常

    20

    超高温状态检测

    软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

    21


    触摸屏尺寸

    7"LCD

    22

    物理指标

    最大功率

    15kw

    23

    额定电压

    AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

    24

    传感器类型

    S型单铂铑

    25

    反应腔室内径尺寸

    Φ100X200mm

    26

    式样有效空间

    3.5"

    27

    真空度

    4.3×10-3Pa(外配分子泵)

    28

    抽气端口尺寸

    KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

    29

    供气口尺寸

    Φ6.35mm双卡套

    30

    冷却方式

    自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

    31

    外形净尺寸(mm)

    长920×深500×高560

    32

    重量

    净重65kg

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